大型フィルターの成膜にも自社開発の大型スパッタリング装置を使用しています。ご提供可能なフィルターの大きさは最大で直径800mm程度となります。分光特性は設計理論値とほぼ一致し、面内の成膜分布ムラもとても小さい値とする事ができます。また、分光特性だけでなく、膜応力をコントロールすることにより成膜後の基板のそり(面精度、曲率成分)を抑えたものも可能です。
数値データ(CSV形式)
※凡例は、フィルター中心をXY座標中心[単位:mm]とした入射角5度での透過率測定位置を示します。
直径600mmサイズのブロードバンドパスフィルターです。透過帯を除く阻止域では光のモレは0.01%以下です。また、透過率一様性についてもP-V(Peak-valley)値で0.19%となっています。
直径600mm基板に成膜されたナローバンドパスフィルターです。この大きさで直径540mmの範囲においてバンドパス中心波長一様性はP-V(Peak-valley)値で0.093%（0.4nm）となっています。
365mm×390mm基板に成膜されたダイクロイックミラーです。分光特性や分布一様性に優れており、面精度についてもほぼフラットな面に仕上げる事が可能です。