分光装置:光学式膜厚計(膜厚監視)

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■光学式膜厚計

OMD-1000とは

蒸着中の基板の光量変化を単色光で監視する分光式の膜厚監視モニターです。低ノイズでの膜厚監視を実現しています。自社の蒸着装置でも使用されており、蒸着部品メーカーとしてのノウハウの詰まった膜厚監視装置に仕上がっています。

波長範囲も充実

従来の機種は波長選択はフィルター式でしたが、新製品は当社で実績のある分光器を組み込み、任意の波長を選択できるようになりました。また波長範囲も400〜800nmから380〜1600nmと大幅に拡大しました。膜厚変化の信号は電圧出力からパソコン対応のデジタル出力へ、制御機構はマニュアル操作からパソコンによるコマンド制御になっています。 また膜厚計本体をI/Fによりパソコンと直結して制御できる様にしたことで、他のメーカーの様なコントローラーなどがなく、非常にコンパクトなシステムになっています。

特長

  • 分光器搭載のコンパクトな設計
  • 高い安定性により、高精度な成膜を実現(ノイズ安定性±0.05%以下)
  • 耐ノイズ性の向上により、信頼性の高い膜厚監視を実現(静電気放電試験耐圧 ±5kV)
  • PCからのコマンドにより自動制御可能
  • コントローラーを受光器本体に内蔵したことにより、高いコストパフォーマンスを実現

本体構成と配線

製品概要

蒸着装置へ取り付けて膜厚を監視します。右記のような取り付けが可能です。

反射型監視

透過型監視
(投光器折り曲げ)

透過型監視
(投光器直結)

商品構成

受光器

投光器

電源ボックス

嵩上げフランジ
※反射型ミラーボックスに付属


反射型ミラーボックス


透過型ミラーボックス

■製品仕様

型式 OMD-1000
分光器タイプ ツェルニーターナー型シングルモノクロ
波長範囲 保証範囲:380〜900nm
動作可能範囲:350〜1100nm
波長分解能 スリット0.5mm:4.2nm [546nm]
スリット1.0mm:8.3nm [546nm]
波長精度 ±1.0nm
最小波長送り 0.1nm
外部制御 RS232C
外部出力端子 DC0〜2V (フルスケール時)
サンプリング間隔 100msec以上
静電気放電試験耐圧 ±5kV (実績8kV)
光源 12V100W ハロゲンランプ
光量安定性 ±0.1%/h 以下
光量ノイズ ±0.05% 以下
入力電圧 AC100V 50/60Hz
許容入力電圧 AC85〜132V
皮相電力 340VA以下
使用環境 温度 10〜35℃
湿度 20〜80%

※製品仕様、アプリケーション等は改良のため、予告なく変更することがございます。ご了承ください。

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