製品概要

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■朝日分光の製品概略
 当社では、おもにセット物と中間機材を製造販売しています。セット物としては、大きく分けて、特殊光源ユニットと分光関連の応用機器、システムに近い大型の特注品を設計、製造、販売しています。


a.セット物  (特殊光源ユニット、分光関連の応用機器、システムに近い大型の特注品)


b.中間機材
■特殊光源ユニット
◆特殊光源ユニットとは

特殊光源ユニットは、キセノンや水銀灯から出た光をライトガイドで導き、特殊なレンズ系と組み合わせて、均一な照明をさせています。


◆特徴

  • 数種類の多層膜を巧みに組み合わせて、光源から発生する強烈な発熱(赤外線)を遮断して、ライトガイドに入射させていること。
  • 円板に多数の単色フィルターを組み込んで、多色光源にしていること。
  • 明るさを調整する調光機能を備えていること。
等です。この光源ユニットは、いろいろな分野で使われていますが、その多くは管理機材として使われ、好評を戴いています。
■分光関連の応用機器
分光関連の応用機器は、測定試料に対して測定光を任意の角度で入射させ、これを所望の反射角で受光する、いわゆるゴニオホトメトリックな光学系を基本としています。





測光方式は、試料を試料台にポンと置くだけのタイプ(H型)と試料台に垂直に立てて置くタイプ(V型)の二種類あります。ゴニオ方式を取れば、試料の鏡面反射、拡散反射、位相差測定、多層膜の画角特性、結像系(組レンズ)の分光透過率特性等、適用範囲は多種多様、この測定方式の応用として実測できます。一寸変わった応用例としては、LED光源の配光特性もこの光学系で実測できます。(個々の詳細については、個別の項目を参照)。当社では、ゴニオホトメトリックなシステムを構成する個々のコンポーネント、例えばシングル及びダブルモノクロメーター、フィルター式モノクロメーター、定電圧電源付受光器等もユニット化して販売しています。

反射率測定器
ゴニオフォトメーター

H型(横置きタイプ)
の試料ステージ

内部光学系
 
■セット物
コールドミラーモジュール 可変式NDフィルター セット物の特徴としては、性能を向上させ、信頼性を高めるために装置に組み込む基幹部品は内製している事と、アフターサービスに力を入れている事です。

  特殊光源に組み込んでいる基幹部品の内製例を挙げれば、発熱の流れを遮断する多層膜を無調整で取り付けられるコールドミラーモジュール、照明光の明るさを自由に調整する可変式NDフィルター、耐熱性が抜群に良い単色レンズ、照明光を均一にするためのフライアイレンズ、ロッドレンズ等です。
分光関連の応用機器の基幹部品としては、モノクロメーターに組み込む軸外しの放物面鏡、超高精度を要求する波長送り機構、更には照明光源用の楕円面の反射鏡等が挙げられますが、これらのものは全て内製しています。
内製化した非球面ミラーとレンズ
■システムに近い大型の特注品
システムに近い大型の特注品は、今まで全く宣伝していませんでしたが、今までの納入実績としては、液晶露光装置に組み込まれている超大型反射鏡の反射率や位相差を測定する装置、CCDの感度を測定する定エネルギー分光照射装置、ArF波長域(193nm)で窒素雰囲気中で、光学素子の透過率を実測する装置などがあり、これらはいずれも納入先より非常に高い評価を得ています。
大型ミラー用反射・透過・位相差測定装置

ArF波長帯、窒素パージ
透過率測定器
だがこれらの特注品の性能仕様はとても厳しく、軸外しの放物面鏡、トーリック反射鏡、回転楕円反射鏡、シリンドリカル鏡等の非球面を自由自在に多用しないと、所望の特性が得られませんでした。ごく少量の上、性能的にやたらと厳しいこれらの光学部品は、外部に依頼しても引き受けてくれる所は皆無ですので、当社で内製し評価したものを組み込みました。
■中間機材
中間機材とは、機器メーカーの製品に組み込む部品や組込ユニットの事です。ずっと以前から、当社では半導体や液晶用の露光装置に組み込む成膜部品や、医療機器やバイオ関連の機器に組み込む多層膜部品を製造し、これらの機器メーカーに納入してきました。組込以外の多層膜部品としては、官庁、大学、研究所の研究・開発部門を対象として、単色フィルター、治具を使った成膜(例えば光量可変フィルター)も手掛けて参りました。(詳細は個別の項目を参照)。ところで最近になって、イオンビームスパッタリングで成膜したレーザーライン用フィルター、純色性の非常に良い(半値幅の狭い)単色フィルター、耐久性が非常に良い近赤外域の単色フィルターなどに製造の範囲を拡げました。さらに光軸調整済みで電球付きの反射鏡(楕円ミラー)、バイオ関連の光学系ユニットなどの製造、販売も始めています。


当社の中間機材の特徴は、セット物と同じ基本方針に基づいています。すなわち、セット物は、自社で内製した基幹部品を組み込まないと特徴が出しにくいのと同様に、部品こそ、これを製造するために最適な製造装置を自社で設計、製作しないと本当の特徴が出せません。この考え方に基づいて、これらの部品の製造装置のエンジン部分はほとんど社内製です。さらに性能や品質の評価装置も、市販していない測定機は自社で測定方法の検討から始めて、自社で設計、製作しています。
 
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